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LPCVD干泵組及架構
產品描述
LPCVD干泵組及架構
額定功率：3相380V 50Hz 9Amp
保養(yǎng)周期：LTO 6~10個月，SIPOS 每年
優(yōu)缺點：日常免維護，故障率低；價格高，不宜頻繁啟停，N2用量和功率高，且使用冷卻水，機構和裝配復雜通常只能委外維護。
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